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检漏仪
产品简介
 VS系列氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪,它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱 仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面,以及可选功能组件。
>> 咨询热线:13316689188 李国栋(经理)

       VS系列氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪,它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱 仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面,以及可选功能组件。VS MR15x 和 VS MD30x型号检漏仪可选用双轮车。 所有检漏仪型号都适用于 100/115 VAC 和 230 VAC。

特点:
• 多种语言和计量单位选择,可选中文界面
• 135º 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构
• 新的电子线路及信号处理设计
• 最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
• 快速清氦和快速响应
• 测试口耐压高,可实现大漏检漏

性能指标
PR02/PD03
MR15和MD30
性能
前级泵内置式
前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵
DS-42, 2 m3/hr (34 l/m)
DS-302, 14 m3/hr (232 l/m)
涡卷式干泵
干泵-2 m3/hr (34 l/m)
TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下
5×10-12 atm cc/sec5×10-12 mbar l/s;5×10-13Pa m3/sec ,氦气
测试口最高耐压
13 mbar,10 Torr,1330 Pa
测试口处对氦气抽速
1.8 l/s
校准
自动或手动(内置或外置)
氦本底清零
按键清零,并具有零点追踪功能
操作界面
高清晰彩显,TFT触摸屏
语言选择
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测
可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点
响应时间
<0.5秒
设定点
标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点
通讯协议
RS-232 通讯接口,9600波特率(9芯串口)
执行标准
UL,CE,CSA
无限远程控制(选件) 2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源

氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备;电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆;高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源;电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。

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